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MEMSMikro

MEMS Mikrofon: Bauteilgröße 2,0 x 2,6 mm² (Quelle: EPCOS AG)
MEMS Mikrofon: Bauteilgröße 2,0 x 2,6 mm² (Quelle: EPCOS AG)

[17|03|2010]

Projekt zur Miniaturisierung von Mikrofonen

Das Bayerische Staatsministerium für Wirtschaft, Infrastruktur, Verkehr und Technologie fördert das Projekt MEMSMikro: Bei Mikrofonen für Mobiltelefone und Headsets findet seit einigen Jahren ein technologischer Umbruch statt: Traditionell hergestellte Mikrofone werden nach und nach durch Mikrofone ersetzt, die mit Mikrotechnologien hergestellt werden. Diese so genannten MEMS Mikrofone sind kleiner als die bisher verwendeten.

Ziel des Projekts ist die weitere Miniaturisierung dieser Mikrofone von jetzt ca. 2 x 3 mm² auf etwa 1,5 x 1,5 mm². Dabei arbeitet die Hochschule München mit bei der Entwicklung von Gehäusetechnologien und der Entwicklung von Methoden zur elektroakustischen Charakterisierung.

Projektträger ist der VDI/VDE-IT München, Projektpartner sind die EPCOS AG, das Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, das Unternehmen Müller-BBM und die Hochschule München.

Prof. Dr. Georg Feiertag / ck

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