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Aktuelles > Veröffentlichungen
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Listen der Veröffentlichungen von ProfessorInnen
(nach Autorenname alphabetisch sortiert)
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| Prof. Dr. Dietmar Fasold |
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
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| Prof. Dr. Gerhard Franz |
Fakultät für Feinwerk- und Mikrotechnik, Physikalische Technik |
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| Prof. Dr.-Ing. Rainer Froriep |
Fakultät für Feinwerk- und Mikrotechnik / Physikalische Technik |
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| Autor |
C. Strowitzki, G. Franz |
| Titel |
Influence of the Electrode Material and Structure on the Performance of a
XeCl* Laser
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| erschienen |
IEEE Trans. Plasma Sci. PS-36(1), 181 - 184 (2008) |
| Preis |
nicht bekannt |
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| Autor |
Q. Wang, F. Doll, V.M. Donnelly, D.J. Economou, N. Sadeghi, G. Franz |
| Titel |
Experimental and theoretical study of the effect of gas flow on gas temperature
in an atmospheric pressure microplasma
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| erschienen |
J. Phys. D: Appl. Phys. 40, 4202 (2007) |
| Preis |
nicht bekannt |
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| Autor |
A. Ranjan, C. Helmbrecht, V.M. Donnelly, D.J. Economou, G. Franz
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| Titel |
Effect of surface roughness of the neutralization grid on the energy and flux of
fast neutrals and residual ions extracted from a neutral beam source
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| erschienen |
J. Vac. Sci. Technol. B 25, 258 (2007) |
| Preis |
nicht bekannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Fluktuationen - Schönheit in Kunst und Wissenschaft |
| erschienen |
ISBN 9-783940-068002, Civetta-Verlag München, XII, 356 S., 31 Abbn. + 30 Notenbeispiele, 1. Exemplar ausgeliefert am 17. Feb. 2007 |
| Preis |
24,75 Euro |
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| Autor |
G. Franz, S.F. Dribinskiy, D. Voss |
| Titel |
Properties of Various Polyparylenes Deposited by Conventional and Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition |
| erschienen |
53. AVS-Meeting in San Francisco, Nov 12 - 17, 2006 |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
S.F. Dribinskiy, G. Franz, D. Voss |
| Titel |
Diagnostics of Microwave Plasmas Applied for Organic Layer Deposition |
| erschienen |
53. AVS-Meeting in San Francisco, Nov 12 - 17, 2006 |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Some aspects of dissipation mechanisms in chlorine containing capacitively coupled discharges |
| erschienen |
J. Vac. Sci. Technol. A 24(4), 1360 -
1365 (2006) |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Fluktuationen - Schoenheit in Musik und Wissenschaft |
| erschienen |
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| Preis |
€ 24,50 |
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| Autor |
E. Deichsel, G. Franz |
| Titel |
Fabrication of Dry Etched and Subsequently Passivated Laser Facets in GaAs/AlGaAs |
| erschienen |
J. Vac. Sci. Technol. A22, 2201 (2004) |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Self-Consistent Analysis of Capacitively-Coupled Chlorine-Containing Plasmas |
| erschienen |
J. Vac. Sci. Technol. A23, May/June 2005 |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik, 3. Auflage |
| erschienen |
XVII, 543 pages, 300 figures, ISBN 3-540-40765-0, Springer-Verlag Berlin, 2004 |
| Preis |
€ 99,50 |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Plasma Roughening of Polished SiC Substrates |
| erschienen |
Materials Science in Semiconductor Processing 5, 525 (2003) |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
M.Klick, G. Franz |
| Titel |
Electron heating and Process Characterization in Reactive Low-Pressure Plasmas |
| erschienen |
6th AEC/APC Conference, Dublin, Irland, April 05/07, 2005 |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Excitation Mechanisms in Capacitively Coupled Plasmas |
| erschienen |
Oxford workshop at ETH Zuerich, Sep 13/14, 2005 |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz, M. Klick |
| Titel |
Excitation Mechanisms in Low Pressure Capacitively Coupled Discharges |
| erschienen |
51st International Symposium of the American Vacuum Society, Anaheim, Calif., U.S.A., Nov. 14 Nov. 19, 2004 (contributed) |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Analyse chlorhaltiger kapazitiv gekoppelter Plasmen |
| erschienen |
Technische Universität München, Institut für Nanoelektronik, (Dr. Giuseppe Scarpa), München, June 22, 2004 (invited) |
| Preis |
nicht benannt |
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| Autor |
G. Franz |
| Titel |
Analyse chlorhaltiger kapazitiv gekoppelter Plasmen |
| erschienen |
Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Allgemeine Plasmaphysik (Prof. Peter Awakowicz), Bochum, May 11, 2004 (invited) |
| Preis |
nicht benannt |
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Komplettliste der Veröffentlichungen (Vorträge): >> pdf
Komplettliste der Veröffentlichungen (Journalartikel): >> pdf
Komplettliste der Veröffentlichungen (Bücher und Buchartikel): >> pdf
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Presse- und Öffentlichkeitsarbeit
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