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Der Masterstudiengang Mikro- und Nanotechnik bietet Ihnen einen Abschluss nach dem internationalen Standard (Master of Science) und ermöglicht damit einen reibungslosen internationalen Austausch. Darüber hinaus eröffnet er den Absolventinnen und Absolventen die Möglichkeit zur Promotion an naturwissenschaftlichen und technischen Fakultäten in In- und Ausland. Das Studium ist interdisziplinär angelegt und vermittelt neben den naturwissenschaftlich- technischen Grundlagen der Mikro- und Nanotechnik umfassende Einblicke in deren Anwendungen in der Elektro- und Informationstechnik, Maschinenbau, Fahrzeugtechnik, Feinwerk- und Werkstofftechnik sowie Physik, Chemie, Biologie und Medizin. Es wendet sich daher an alle Interessentinnen und Interessenten, die einen Bachelor- oder Diplomabschluss in einem natur- oder ingenieurwissenschaftlichen Fach einer deutschen oder ausländischen Hochschule besitzen. Mikro- und Nanotechnik haben heute Einzug in fast alle Bereiche des Lebens gefunden. Die Grenzen zwischen Mikro- und Nanotechnik sind dabei fließend. So ist beispielsweise die "Mikroelektronik" längst auf der Nanometer Skala angekommen. Mikro-und Nanotechnik ist jedoch heute nicht mehr auf die Herstellung von Kleinststrukturen für elektronische Bauelemente beschränkt. Innovative Produkte wie Sensoren werden zusammen mit mikroelektronischen Steuer- und Aktorsystemen gemeinsam in miniaturisierte Bauteile integriert. Intelligente mikromechanische Beschleunigungssensoren zur Auslösung von Airbags in Pkws sind nur ein Beispiel dafür. Der Bedarf an solchen Bauelementen mit einem Minimum an Gewicht, geringstem Platzbedarf und reduziertem Energieverbrauch ist groß. Auch in den Life Sciences gehören hochintegrierte Biochips, mikrofluidische Systeme und mechatronische Bauelemente längst zu den Standardwerkzeugen in der medizinischen Diagnostik und der pharmazeutischen Wirkstoffforschung. Auch hier schreitet die Integration von miniaturisierten biologischen, mechanischen, elektronischen und optischen Bauteilen unter dem Schlagwort "Lab on a Chip" unaufhaltsam voran. Gleichzeitig wird in der Mikroelektronik am Aufbau integrierter Schaltungen mit Hilfe intelligenter biologischer Moleküle gearbeitet. Auch Nanowerkstoffe, wie z.B. kratzfeste Beschichtungen oder schmutzabweisende nanostrukturierte Oberflächen von Farben und Keramiken sind aus unserem täglichen Leben heute kaum noch weg zu denken.

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