Nanostrukturtechnik

Kompetenz


  • Physik der Gasentladungen (Niederdruckplasmen) und deren Wechselwirkung mit Festkörperoberflächen
  • Defektphysik in Halbleitern in Zusammenhang mit optoelektronischen Eigenschaften
  • Weitverzweigtes Netz persönlicher Kontakte zu anderen Hochschulinstituten und vielen bedeutenden Ausrüsterfirmen der Halbleiterindustrie



Ansprechpartner

Prof. Dr. Gerhard Franz
Raum: A 223

Tel.: 089 1265-1698
Fax: 089 1265-1603