Nanostrukturtechnik

Vorgelagerte Forschung

  • Reaktive Niederdruckplasmen: Anregung, Diagnostik und Modelling
  • Von Mikro zu Nano: Miniaturisierung der Strukturen durch isotropes und anisotropes Ätzen
  • Defektuntersuchungen mit optischer Spektroskopie (Fourier-transformierte Infrarot-Spektroskopie, Photolumineszenz)
  • Modellentwicklung zum Einbauverhalten von Störstellen in Halbleitern und Einfluß auf elektrische/optische Eigenschaften.


Gitterfehler
Modellbild eines Gitterfehlers











Gastemperatur in einem kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-Plasma eines Parallelplatten-Reaktors
Gastemperatur in einem kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-Plasma eines Parallelplatten-Reaktors


Ansprechpartner

Prof. Dr. Gerhard Franz
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Tel.: 089 1265-1698
Fax: 089 1265-1603